倒锥微孔阵列的激光微加工技术研究进展

• 作者: 何西琴 童杏林 陈续之 冒燕 张翠 邓承伟
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 激光加工 倒锥微孔 微孔阵列
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TN244
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2021.01.007

摘要

激光微加工技术凭借其加工效率高、加工材料广泛、无物理损伤以及操控性强等优点在高精度机械部件的加工上有较好的应用前景,易加工出尺寸微小、数量庞大、高品质的倒锥微孔阵列.首先对激光加工微孔的工作原理和特点进行了介绍,综述了激光在加工微孔阵列、倒锥微孔以及倒锥微孔阵列的研究现状,详细介绍了准分子激光、飞秒激光、纳秒激光在加工微孔阵列、倒锥微孔以及倒锥微孔阵列时的系统组成,分析了得到的微孔和阵列结构质量情况.