基于半导体纳米线的环形激光器

• 作者: 李圣昆 赵跃进
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 关键词: 微光电子机械系统(MOMES) 半导体纳米线 谐振腔 微型激光器 光致发光
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 器件与技术|Devices and Technology
• 页码范围: 102-106,169
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.02.002

摘要

针对微光电子机械系统(MOMES)传感器件对微型片上光源的需求与当前半导体纳米线结构制备的进展,设计了一种基于Ⅱ-Ⅵ族半导体纳米线的激光器.将生长出来的纳米线在纯净水中超声制备均匀分布的悬浊液,再滴至载玻片表面,在显微镜50×物镜下观测得到纳米线呈现稀疏分布,约2～3根,选择尺寸较长的纳米线作为制备环形谐振腔的材料.首先使用355 nm激光激发单根的纳米线,得到半导体纳米线受激发射的以505 nm为中心波长的绿光,半高全宽(FWHM)为20 nm,然后采用光纤探针和微米位移平台操控纳米线,制备了一个半径约10 μm的环形谐振腔,并得到其激发光谱,谐振峰的中心位置在521.5 nm处,FWHM为0.19 nm,由此计算得到的品质因子值为2 70)0,制备得到的谐振腔激光器可以满足MOMES器件集成的需要.