紧凑型微波ECR等离子体源的设计及其特性研究

• 作者: 柴昊 贾军伟 王斌 李鹏 崔爽 冯旭 李伟 刘展 李绍飞 陈权
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 微波ECR源 等离子体校准 空间分布 稳定性
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TB79
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.01.02

摘要

地面电推进试验、星载Langmuir探针地面标定等航天任务,均对等离子体参数的校准提出了需求.目前,等离子体参数的校准主要是在稳定的等离子体环境中,通过被测仪器与标准进行量值比对的方式实现,因此,获得稳定的等离子体环境是开展校准技术研究的重要前提.微波ECR源产生的等离子体具有均匀、稳定、可调节范围宽等特点,十分适合应用于等离子体校准中.本文设计研制了永磁型微波ECR等离子体源,并对该源的特性进行了实验研究,获得了该源的空间分布特性、稳定性实验结果.实验结果表明:研制的紧凑型微波ECR源稳定性、重复性均在10％以内,具有作为标准源应用于等离子体校准的潜力.