微电铸图形表面平面度提升技术

• 作者: 张剑 卢茜 向伟玮 徐诺心 赵明 叶惠婕 罗建强 何琼兰
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电铸 图形 化学机械抛光 表面平面度
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 微系统技术
• 页码范围: 9-11,15
• 页数: 4页
• 分类号: TN60
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2021.01.003

摘要

微电铸技术是制备小尺寸、高精度金属微结构的常用技术.然而,在进行铜微电铸时,产品表面电流密度的分布呈现边缘大、中间小的趋势,从而导致了电铸层厚度分布不均匀的现象.此外,对于同一电铸图形,其边缘和中心的高度分布也不同.采用高精度机械研磨技术结合化学机械抛光技术,可提升微电铸图形的表面平面度.研究表明,152.4 mm幅面的微电铸图形的总厚度变化小于5 μm.