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基于光谱共焦的碱金属气室壁厚测量传感器的线性色散物镜设计
基于光谱共焦的碱金属气室壁厚测量传感器的线性色散物镜设计
作者:
孙飞
董祥美
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光学设计
光谱共焦
色散物镜
线性度
多重结构
摘要:
基于光谱共焦的碱金属气室壁厚测量传感器是通过直接测量光波波长信息来得到透明材料厚度值,是一种非接触式厚度测量传感器.色散物镜是厚度测量传感器的核心部件,色散物镜的线性度和色散范围决定了厚度测量传感器的精度和分辨率.文章介绍了基于光谱共焦的厚度测量传感器的原理,分析了波长信息与轴向色散范围之间的关系,利用ZEMAX光学设计软件对色散物镜进行设计,采用多重结构进行优化.在420~620nm的波长区间内实现0.801mm的轴向色散范围,使用最小二乘法对波长和轴向色散进行线性拟合所得线性度为0.9975.配合0.001nm的高分辨率光谱仪,传感器测量精度可以达到纳米级,满足对碱金属气室壁厚高精度测量的需求.
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篇名
基于光谱共焦的碱金属气室壁厚测量传感器的线性色散物镜设计
来源期刊
光学技术
学科
关键词
光学设计
光谱共焦
色散物镜
线性度
多重结构
年,卷(期)
2021,(2)
所属期刊栏目
光学器件及系统设计|Optical Instrument and Optical Design
研究方向
页码范围
144-148
页数
5页
分类号
TP394.1|TH691.9
字数
语种
中文
DOI
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光谱共焦
色散物镜
线性度
多重结构
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学技术
主办单位:
北京兵工学会
北京理工大学
中国北方光电工业总公司
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-1582
CN:
11-1879/O4
开本:
大16开
出版地:
北京市海淀区中关村南大街5号
邮发代号:
2-830
创刊时间:
1975
语种:
chi
出版文献量(篇)
4591
总下载数(次)
6
总被引数(次)
42622
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