氧化铈及其复合磨料的研究进展

• 作者: 邹兰梅
• 来源期刊: 安徽化工
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铈 复合磨料 化学机械抛光 制备
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TG73
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-553X.2021.01.005

摘要

介绍了氧化铈及其复合磨料的主要制备方法,描述了该材料在化学机械抛光(CMP)应用中的研究进展.针对当前研究所面临的问题进行简要分析,并展望了其今后的研究方向.