五元环氟化物的合成及应用

• 作者: 张呈平 庆飞要 贾晓卿 权恒道
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 五元环氟化物 1，1，2，2，3，3，4-七氟环戊烷 电子清洗 电子刻蚀 电子氟化液 催化 催化剂 催化剂活化
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 3963-3978
• 页数: 15页
• 语种: 中文
• DOI: 10.11949/0438-1157.20200582

摘要

综述了以双环戊二烯(DCPD)、六氯环戊二烯(HCCPD)或八氯环戊烯(OCP)为起始原料合成1,2-二氯六氟环戊烯(F6-12)、1,3-二氯六氟环戊烯(F6-13)、1-氯七氟环戊烯(F7-1)、1,1,2,2,3,3,4-七氟环戊烷(F7A)、1,1,2,2,3,3-六氟环戊烷(F6A)、顺式-1,1,2,2,3,3,4,5-八氟环戊烷(cis-F8A)、八氟环戊烯(F8E)、3,3,4,4,5,5-六氟环戊烯(F6E)、1,3,3,4,4,5,5-七氟环戊烯(F7E)等系列五元环氟化物的合成路线，以及五元环氟化物在电子清洗、电子刻蚀、合成电子氟化液的应用。提出了五元环氟化物的合成研究重点是新型合成路线的开发、高催化活性且对人体健康无害的过程催化剂的开发，以及无污染化工艺过程的开发，而应用研究重点是开发五元环氟化物的电子级产品以及开发五元环氟化物的下游产品。