p型掺杂剂Cp2Mg在MOCVD气相中的反应机理研究

• 作者: 张红 唐留
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 金属有机化学气相沉积 密度泛函理论 p型掺杂 反应机理 计算化学
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 热力学
• 页码范围: 3000-3008
• 页数: 8页
• 分类号: TN304.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.11949/0438-1157.20191354

摘要

采用量子化学的密度泛函理论计算，提出并研究了金属有机化学气相沉积(MOCVD)气相过程中p型掺杂剂Cp2Mg的反应机理。特别判断了不同温度下各反应进行的可能性。发现Cp2Mg主要有两条相互竞争的反应路径，加合路径和氢解路径。对于加合路径，在293~573 K的温度范围内，会形成络合物Cp2Mg∶NH3或Cp2Mg∶(NH3)2。对于氢解路径，气相中的H自由基是一把“双刃剑”。一方面H自由基对Cp2Mg的分解有积极的辅助作用，明显降低了Cp2Mg的分解温度；另一方面由于钝化作用会形成Mg-H气相络合物，影响p型掺杂效果。