气相色谱法在六氟化硫制备中的应用

• 作者: 朱峰 林百志 郁光 段峰 方华
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 化学
• 关键词: 气相色谱法 制备工艺 杂质检测
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 分析与测试
• 页码范围: 38-46
• 页数: 9页
• 分类号: O657.7|TQ117
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2021.01.009

摘要

通过对目前市场主流的六氟化硫气体生产厂商现场色谱检测分析,跟踪特征杂质气体在新气处理过程中的变化趋势,得到了特征杂质气体和气体的变化规律,并指导了六氟化硫生产过程中的质量把控.