基于静态累积法的极小气体流量测量研究

• 作者: 冯天佑 成永军 陈联 赵澜 孙冬花 张瑞年
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 极小气体流量 静态累积法 测量下限 非线性现象
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 量值传递技术
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TB771
• 语种: 中文
• DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2021.01.08

摘要

通过静态膨胀法与固定流导法获得了(10-9～10-14)Pam3/s的氦标准气体流量,并采用静态累积法对所产生的极小气体流量进行了测量,相应的氦离子流上升率在(10-10～10-15)A/s范围.实验结果表明:气体流量静态累积时的离子流波动随流量降低逐渐增大,降至1.69×10-14 Pam3/s时,多个数据点已偏离上升率拟合线较远,此时达到测量下限.在(10-9～7.66×10-12)Pam3/s范围,气体流量与对应离子流上升率有很好的线性,最大偏差为6.8％;当气体流量小于7.66×10-12 Pam3/s时,标准流量与离子流上升率的对应关系呈现出明显的非线性.