高精度三维螺纹测量机接触式扫描测头动态特性研究

• 作者: 林希萌 禹静 杨艳玲 蔡晋辉 李东升
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 关键词: 接触式测量 扫描测头 动态特性 测头精度
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 精密测量技术与仪器|Precision Measurement Technology and Instrument
• 页码范围: 92-98
• 页数: 7页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.19650/j.cnki.cjsi.J2007101

摘要

扫描测头是高精度三维螺纹综合测量机的核心部件,其动态特性严重影响了整机的精度.为了提高测量机的精度,对高精度螺纹三维尺寸测量线性扫描测头的动态特性进行了研究.首先分析了三维螺纹综合测量机用扫描测头的测量原理,然后建立了动态特性模型并提出了影响动态测量结果的因素,最后通过实验验证了这种测头结构的动态特性和测量处理方式的有效性.实验结果验证了影响因素的正确性,优化影响最大的采样间距因素可以过滤80％的无效数据点,从而使该段拟合平均残差平方和误差减小了91.0％,线性误差减小了67.4％,进而提高了三维螺纹测量机的测量精度.