高纯溴化氢的制备及纯化技术研究进展

• 作者: 袁胜芳 任章顺 张金彪 翟晓颖 铁宁
• 来源期刊: 低温与特气
• 关键词: 高纯溴化氢 制备 吸附 精馏
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 综述评论|Summarization & Review
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TQ124.5+2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2021.03.001

摘要

高纯溴化氢是一种理想的氟碳类蚀刻气体的替代品,其具有优异的蚀刻性能,被用于新一代微电子工业.综述了溴化氢的的制备工艺及纯化方法.在实际生产中,优先选用燃烧法制备溴化氢,再根据杂质种类和含量选择合适的纯化方法,得到高纯度的溴化氢产品.