高精度石英半球裸振子微应力制造

• 作者: 訾进锋 宋丽君 李绍良 苏定宁 熊安宁 赵万良 高立民 陈效真
• 来源期刊: 飞控与探测
• 关键词: 半球谐振陀螺 石英半球裸振子 激光加工 微应力制造 飞秒激光
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 页码范围: 81-91
• 页数: 11页
• 分类号: U666.12
• 语种: 中文

摘要

半球谐振子是半球谐振陀螺的核心元件,其质量直接决定了陀螺的性能及精度.由高纯石英材料制成的半球谐振子已得到了业界的广泛认可,但其加工难度较高.半球裸振子是半球谐振子的未完全加工态,其加工表面残余应力的大小决定了谐振Q值、频差Δf等参数,进而影响着谐振性能.就石英半球裸振子的微应力制造技术方法和技术特点进行了分析和讨论,探讨了采用飞秒激光加工设备实现石英半球裸振子微应力制造的可行性.飞秒激光加工具有速度快、热变形小、非接触、微应力等优势.将其用于半球谐振子加工,能够明显改善加工效率,降低成本,改善表面应力状态.采用飞秒激光加工为高精度石英半球裸振子的加工提供了全新的实现途径.