真空退火温度对AlCrSiN/Mo自润滑涂层结构与性能的影响

• 作者: 刘迁 彭勇 朱强 柯培玲 王铁钢 蒙德强 许人仁
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 自润滑涂层 真空退火温度 高功率脉冲磁控溅射 临界载荷 磨损率
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 126-132
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2019.001174

摘要

采用高功率脉冲磁控溅射与脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术制备AlCrSiN/Mo自润滑涂层,通过真空退火处理改善其结构和性能.利用扫描电镜、X射线衍射仪、电子探针分析仪、纳米压痕仪、划痕测试仪及摩擦磨损试验机,系统研究真空退火温度对涂层组织结构、力学性能及耐磨性能的影响.结果表明:所有AlCrSiN/Mo涂层均是a-Si3 N4非晶相包裹nc-(Al,Cr,Mo)N的纳米复合结构.经真空退火后,涂层表面颗粒尺寸明显增大,对应纳米硬度与临界载荷均出现下降,而耐磨和减摩性能得到显著改善.当退火温度为700℃时,涂层的综合性能最佳,纳米硬度为18.3 GPa、摩擦因数为0.51、磨损率为3.4×10-4μm3·(N·μm)-1,此时特征值H/E和H3/E*2亦最高.