沉积压力对金刚石涂层组织结构及铣削性能的影响

• 作者: 陈亚奋
• 来源期刊: 工具技术
• 关键词: 金刚石涂层 沉积压力 组织结构 3D玻璃石墨模具 铣削性能 刀具
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 26-30
• 页数: 5页
• 分类号: TG71|TH16
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2021.01.005

摘要

研究不同沉积压力对化学气相沉积CVD金刚石涂层的组织结构及切削性能的影响.采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,在不同的沉积压力下于WC-Co基硬质合金基体表面制备金刚石涂层.通过X射线衍射分析(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析涂层的微观组织结构,利用拉曼光谱(Raman Spectroscopy)分析金刚石涂层的成膜质量.研究结果表明,在金刚石涂层沉积压力为5～15mbar时,提高涂层沉积压力可以有效提高金刚石涂层表面晶粒尺寸、金刚石峰强度比及纯度,同时提高涂层<111>晶面取向择优.在铣削3D玻璃石墨模具时,沉积压力为15mbar时,制备的金刚石涂层刀具切削性能最优.