直方图方法评定云母基底上氧化石墨烯薄片厚度

• 作者: 王建峰 卜天佳 姚雅萱 田颖 任玲玲
• 来源期刊: 计量科学与技术
• 关键词: 氧化石墨烯 原子力显微镜 直方图方法 厚度测量 材料计量
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 测量方法研究
• 页码范围: 89-93
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2096-9015.2021.01.16

摘要

厚度评定是石墨烯相关材料领域的重要课题,原子力显微镜是测量纳米级厚度最直接的手段.由于测量过程中噪声和表面粗糙度等多种因素的影响,根据原子力显微镜形貌数据准确评定厚度仍存在困难.本文利用原子力显微镜测量云母基片上的氧化石墨烯形貌,采用直方图方法分析其厚度.通过对比分析基于区域和基于剖面线的直方图方法,揭示了影响直方图方法评定结果的因素.结果表明直方图方法可以为石墨烯相关材料厚度计量提供有效信息.