一种新型高性能FinFET的设计与特性分析

• 作者: 吴頔 汤乃云
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 短沟道效应 鳍式场效应晶体管(FinFET) 直肠形器件 亚阈值特性 TCAD仿真软件
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体器件
• 页码范围: 53-58
• 页数: 6页
• 分类号: TN386
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.01.008

摘要

针对CMOS器件随着技术节点的不断减小而产生的短沟道效应和漏电流较大等问题,设计了一种新型直肠形鳍式场效应晶体管(FinFET),并将该新型器件与传统的矩形结构和梯形结构的FinFET通过Sentaurus TCAD仿真软件进行对比.结果表明,当栅极长度控制在10 nm时,新型器件相比于另外两种传统的FinFET具有更小的鳍片尺寸,且鳍片高度不低于抑制短沟道效应的临界值.仿真结果显示,这种新型的FinFET具有更好的开关特性和亚阈值特性.同时,该器件在射频方面的特性参数也显示出该器件具有较高性能,并有一定的实际应用价值.