基于干涉图像分析的移相式激光干涉仪振动检测方法

• 作者: 翟天保 钟平 李志松 苏舒 李钮琦
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 关键词: 图像处理 统计学 移相干涉技术 振动检测 抗振系统
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量|Opto-Electronic Measurement
• 页码范围: 33-41
• 页数: 9页
• 分类号: TP302.1
• 语种: 中文

摘要

当移相干涉仪受较大振动干扰时,会导致其无法准确获取较优干涉图组,为了解决该问题,提出了一种基于干涉条纹图像分析的振动检测方法.从图像处理角度,该方法分析了干涉图像中条纹的形状、数量和移相方向等特征与低频高幅度振动的关系,从而判断其是否受较大的低频振动影响;从统计学角度,该方法分析了干涉图组的移相特征与中高频低幅度振动的关系,计算出干涉图组的移相稳定性和准确性并评估整体移相质量,来判断其是否受较大的中高频振动影响.基于上述方法开发了相应的算法,经实验验证,在获取序列干涉图组时,该方法可智能地判断并筛选出受振动干扰较小的干涉图组,进而计算出准确的波面信息,提高了系统的抗振能力,对移相干涉技术的实际应用具有意义.