一种新型高效率微波等离子体炬

• 作者: 马长强 杨丰铭 朱铧丞 杨阳 黄卡玛
• 来源期刊: 真空电子技术
• 关键词: 微波等离子体 大处理量 效率高 流体仿真 多物理场
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 微波能技术专辑
• 页码范围: 23-28,55
• 页数: 7页
• 分类号: TN015
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2021.02.04

摘要

微波等离子体具有无电极、电子密度大、电子温度高和能量效率高等优势,广泛应用于日常生活、能源、化工和材料等领域,但是目前微波等离子体装置作用距离短,效率低,因此等离子体在腔体中停留时间较短,很难发挥出更好的性能,限制了等离子体在工业领域很好的应用.本文提出了一种新型等离子体炬结构,电磁波通过波导馈入圆柱腔体,能量在圆柱腔体中心聚集,形成中心等离子体,再通过纵向叠加另一个圆柱腔体,形成同轴结构,进一步将能量耦合到上圆柱腔体,进而增大等离子体的体积和高度.本文基于有限元方法的电磁仿真建立了等离子体高效激发装置模型,通过模型仿真不断优化腔体的各尺寸参数,然后通过流体仿真模拟了管道内气体流动,最后搭建了微波等离子体实验系统,并分析了不同流速、不同功率、不同气体、不同进气孔数目、不同进气孔倾斜角度等对于等离子体形成的影响.实验结果表明,微波利用效率平均在90％以上,最好可达到99％;通入气体后,火焰最高可达到70 cm以上.