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氢离子辐照诱导的钨表面周期性刻蚀研究
氢离子辐照诱导的钨表面周期性刻蚀研究
作者:
谢俊
范红玉
罗一语
杨秀园
覃纪英
李园园
牛金海
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
等离子体
钨
氢离子辐照
氢泡
刻蚀
摘要:
采用扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)、导电原子力显微镜(Conductive Atomic Force Microscope,CAFM)、能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer,EDS)和纳米压痕等表征技术和方法,综合分析了130 eV氢(H)离子辐照诱导的多晶钨(W)材料的辐照损伤行为.研究表明:H离子辐照剂量从1.0×1024 ions?m?2增加到1.5×1025 ions?m?2时,W材料表面经历了H聚集成泡、在晶界处长大,并逐渐扩散至晶粒表面,直至H泡破裂导致的W表面层脱落的周期性演变过程,一个周期的演变过程所需的H离子辐照剂量约为(6.0~8.0)×1024 ions?m?2.纳米压痕的分析表明辐照后W材料的表面硬度降低,EDS也未检测到W材料表面含有C、O等杂质,这进一步验证了低能H离子辐照后W表面不稳定损伤层的演变是导致W材料刻蚀的主要原因.该工作对于进一步理解在低于溅射阈值能条件下H离子辐照诱导W材料表面刻蚀机制上具有重要参考价值.
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篇名
氢离子辐照诱导的钨表面周期性刻蚀研究
来源期刊
核技术
学科
关键词
等离子体
钨
氢离子辐照
氢泡
刻蚀
年,卷(期)
2021,(5)
所属期刊栏目
核物理、交叉学科研究|NUCLEAR PHYSICS, INTERDISCIPLINARY RESEARCH
研究方向
页码范围
55-61
页数
7页
分类号
TG14
字数
语种
中文
DOI
10.11889/j.0253-3219.2021.hjs.44.050501
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节点文献
等离子体
钨
氢离子辐照
氢泡
刻蚀
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
核技术
主办单位:
中国科学院上海应用物理研究所
中国核学会
出版周期:
月刊
ISSN:
0253-3219
CN:
31-1342/TL
开本:
大16开
出版地:
上海市800-204信箱
邮发代号:
4-243
创刊时间:
1978
语种:
chi
出版文献量(篇)
4560
总下载数(次)
14
总被引数(次)
18959
期刊文献
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