基于激光干涉技术的晶体畸变测量系统

• 作者: 吴显云 叶荣 张容
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉技术 晶体畸变 测量系统 最小二乘法 线性方程组
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 光电技术与应用
• 页码范围: 170-174
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2021.01.170

摘要

为了获得理想的晶体畸变测量结果,针对当前系统存在的问题,提出了基于激光干涉技术的晶体畸变测量系统.首先分析激光干涉技术测量晶体畸变原理;其次为实现可逆计数,设计干涉系统的信号处理流程,对干涉信号做误差补偿,确保光电探测器输出符合要求的信号;最后分组安装激光干涉仪,为提高测量的精准度根据优化的线性方程组,并应用最小二乘算法设计测量轨迹以及系统的角分辨率.仿真实验证明,激光干涉系统能够有效实现晶体畸变测量,其精度高.