一种高精度的非线性相位误差校正方法

• 作者: 赖姗姗 刘元坤 于馨 袁卓凡
• 来源期刊: 光电工程
• 关键词: 非线性相位误差 相位误差补偿 相位测量轮廓术 后处理
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 科研论文|Article
• 页码范围: 44-51
• 页数: 8页
• 分类号: TP391|O438
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2021.200296

摘要

在相位测量轮廓术中,测量系统中投影仪等存在的非线性响应大大影响了相位测量的精度,因此,如何快速高效地消除系统中的非线性误差是提高测量精度的关键.本文建立了相位误差的精确模型,并提出了一种基于相位误差精确模型的相位提取方法,利用高步数相移算法预先标定各频谱分量的比例关系,再通过迭代运算即可得到高精度的相位分布.实验结果表明,该方法可有效补偿非线性误差,从而大大提高相位测量精度,同时,由于各频谱分量是通过高步数相移预先标定的,仅三步相移即可得到高精度相位分布,满足了快速、实时的测量要求.