高纯气体自动充装的研究与应用

• 作者: 杨毅坤
• 来源期刊: 低温与特气
• 关键词: 高纯气体 自动充装 研究 应用
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备|Process & Equipment
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TQ117
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2021.02.004

摘要

传统的高纯气体充装大多由"一"字型充装排与抽真空系统组成.这些手动系统存在操作繁琐,人工劳动强度大,充装后的产品纯度稳定性差等问题.重点针对上述问题在充装前氮气置换、抽真空,以及产品充装等一系列工作实施自动控制、精准充装方面进行了探讨,结合实际工作开发出了一套高纯气体自动化充装系统.