大型金属卷材表面改性连续卷绕镀膜生产线的研制

• 作者: 罗军文
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 金属卷材 离子刻蚀 柱状长弧 中频溅射 连续线
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜|Thin Film
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TB79|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.07

摘要

本文详细介绍了大型金属卷材表面改性连续卷绕镀膜生产线的工作原理、结构组成、技术特点和主要创新设计要点.分析并指出影响大卷径宽幅金属卷材镀膜质量、生产效益的主要因素和解决途径.重点论述了提高镀膜速度和膜层附着力的科学依据,解决了当前金属卷材连续卷绕镀膜生产线中出现的镀膜效率低,均匀性差,光谱L、a、b值光学性能不稳定等难题.自主研发的AEG电弧离子刻蚀辅助系统和柱状阴极电弧离子蒸发技术与中频磁控溅射镀膜技术综合应用,使镀膜沉积速率提高1.3～2倍,整卷镀膜L值色差波动不大于±1.0,a值色差波动不大于±1.5,b值色差波动不大于±1.8.