RF-MEMS滤波器的高性能接口电路设计

• 作者: 代雪梅 陈泽基 阚枭 袁泉 张晓青 杨晋玲
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 射频-微机电系统(RF-MEMS)滤波器 两级放大电路 阻抗匹配电路 低噪声 高增益 低插损
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 79-82
• 页数: 4页
• 分类号: TH89|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)02-0079-04

摘要

提出了一种适用于射频-微机电系统(RF-MEMS)滤波器的高性能接口放大电路.利用微纳工艺制备了相对带宽为1.4％、中心频率为73.02 MHz的硅基MEMS滤波器,针对其高阻抗、高插入损耗特性,设计了基于运算放大器的低噪声、高增益的两级放大电路和阻抗匹配电路.仿真结果表明:接口电路对高频的MEMS滤波器微弱电流信号具有良好的放大效果,增益可达62.75dB,噪声系数为3.35dB,S22反射系数为-46.91 dB,使RF-MEMS滤波器的插入损耗降低至0.56 dB.测试与PCB板级电路级联的MEMS滤波器输出信号表明:RF-MEMS滤波器的插入损耗降至16.2dB,相对带宽为1.4％,中心频率为73.02 MHz,提升了MEMS滤波器在无线通信中的应用潜力.