减反射膜仿真优化与制备

• 作者: 李攀 朱良秋 卢宏
• 来源期刊: 光学技术
• 关键词: 薄膜光学 减反射膜 有限时域差分 等离子增强化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 光学加工|Optical Manufacture
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TN26
• 语种: 中文

摘要

利用有限时域差分方法设计并优化了由二氧化硅和氮化硅组成的双层和三层减反射膜,在1550nm波长附近实现减反射效果.采用等离子增强化学气相沉积高质量的二氧化硅和氮化硅薄膜,制备了氧化硅、氮化硅双层减反射膜,同时制备了氮化硅、氧化硅、氮化硅三层减反射膜.测量了两种减反射膜的减反射效果,双层减反射膜的反射率可以达到0.18％以下,三层减反射膜比双层减反射膜具有更大的带宽.