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热流计SiO2热阻层离子束溅射制备及耐热性研究∗
热流计SiO2热阻层离子束溅射制备及耐热性研究∗
作者:
丁玎
张浩
何峰
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
热流计
离子束溅射
热阻层
SiO2膜
结合强度
摘要:
薄膜热阻式热流计具有响应速度快、结构微型化以及量程广、输出大等优点,是当前使用最广泛的热流传感器.热阻层SiO2膜层与基底材料的结合性能对于热流计的高可靠性来说十分重要,而膜层特性与溅射沉积参数、后期热处理技术之间密切相关.因此,该文围绕离子束溅射SiO2薄膜作为热流计热阻层材料,对不同镀膜时间、热处理工艺之后膜层的表面成分、形貌以及与基底结合强度进行了研究分析.研究发现,550℃热处理能够有效改善膜层的结合力,离子束溅射制备的SiO2薄膜热阻层在高温循环考核的环境下依然保持了较强的结合力.
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热流计
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内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
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文献信息
篇名
热流计SiO2热阻层离子束溅射制备及耐热性研究∗
来源期刊
湘潭大学学报(自然科学学报)
学科
关键词
热流计
离子束溅射
热阻层
SiO2膜
结合强度
年,卷(期)
2021,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
89-94
页数
6页
分类号
O152.1
字数
语种
中文
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节点文献
热流计
离子束溅射
热阻层
SiO2膜
结合强度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
湘潭大学自然科学学报
主办单位:
湘潭大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1000-5900
CN:
43-1066/TN
开本:
出版地:
湖南省湘潭市湘潭大学期刊社
邮发代号:
创刊时间:
语种:
chi
出版文献量(篇)
2407
总下载数(次)
2
总被引数(次)
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