微波表面波对管内壁沉积DLC薄膜的均匀性的研究

• 作者: 周美丽 施昌勇 陈强
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 微波等离子体 管状件 纳米薄膜 均匀性
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜|Thin Film
• 页码范围: 39-44
• 页数: 6页
• 分类号: TB753+.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.08

摘要

本文主要是开展对管状件内壁(如碳钢、聚酯PET瓶、塑料针筒等)采用微波表面波等离子体沉积薄膜的均匀性的研究.论文从沉积薄膜的工艺参数到微波耦合天线的设计对所沉积的纳米DLC薄膜均匀性的影响因素方面进行了探索,通过测量沿天线方向不同位置薄膜的沉积速率得到:影响微波等离子体沉积薄膜均匀性的因素主要是表面波强度的大小,Penning放电只能改善区域性薄膜沉积,不能在整个天线范围增强放电、不能制备均匀的纳米薄膜.