激光在线测厚振动分析与精度优化

• 作者: 宋华雄 张云 宋岚 谭鹏辉 黄天仑
• 来源期刊: 半导体光电
• 关键词: 激光测厚 振动 频谱 滤波
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 光电技术及应用
• 页码范围: 110-115
• 页数: 6页
• 分类号: TB53
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2021.01.020

摘要

激光测厚具有安全可靠、测量精度高、测量范围大等优点,广泛应用于纸张、电池极片等薄膜类材料厚度的在线测量.带材宽幅方向扫描测厚时由于扫描架往复运动会产生机械振动,影响在线测厚精度.针对该问题,以锂离子电池极片厚度测量为例,使用双激光差动式测厚平台对电池极片和铜箔分别进行厚度测量,然后对测厚数据进行频谱分析,探究其振动规律的相似性,并基于频谱分析结果采用滑动带阻滤波方式对测厚数据进行处理,滤波后极片和铜箔的厚度极差分别降低了 33.4％和73.8％,有效过滤了机械振动导致的测量误差,可满足极片和铜箔厚度测量的精度要求.