深紫外非线性光学晶体的研究进展

• 作者: 李志华 李阳 罗楠楠 曹国炜 何颖君
• 来源期刊: 山东师范大学学报（自然科学版）
• 关键词: 非线性光学晶体 倍频效应 晶体生长 禁带宽度 激光损伤阈值 双折射率
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 研究综述
• 页码范围: 234-252
• 页数: 19页
• 分类号: O799
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4748.2021.03.002

摘要

深紫外(吸收边<200 nm,带隙>6.2 eV)非线性光学材料主要应用于激光系统、阿秒脉冲产生、半导体制造和光刻等.本文从晶体结构、禁带宽度、倍频效率、激光损伤阈值和双折射率等方面对已报道的无机深紫外非线性光学材料进行了综述,并按晶体结构中阴离子基团的构成元素进行了分类介绍,包括硼酸盐晶体、铍硼酸盐、氟硼酸盐、磷酸盐等.最后展望了新型深紫外非线性光学材料的发展方向.