基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演

• 作者: 王贵全 张锦荣 邵毅 郑万祥 唐莹娟 胡中 姜兴平 李彦生 李伟 王乔方 字正华
• 来源期刊: 红外技术
• 关键词: 类金刚石薄膜 透射光谱 薄膜厚度 折射率 消光系数
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与器件|MATERIALS & DEVICES
• 页码范围: 473-477
• 页数: 5页
• 分类号: O635.1
• 语种: 中文

摘要

本文采用透射光谱法测量Ge基底类金刚石薄膜(Diamond-like carbon,DLC)的光谱曲线.应用测量的光谱曲线,基于模拟退火算法,构建目标优化函数,通过光谱反演法得到薄膜的厚度、折射率、消光系数.该方法得到的Ge基底类金刚石膜的光学参数与椭偏仪测试结果比对,折射率误差小于1％,厚度误差小于2％.并且将薄膜的光学参数带入透过率理论计算模型,得到的Ge基底类金刚石薄膜透射光谱曲线和实际测试曲线的误差小于2％.该方法只需测量透射光谱曲线,通过计算就能得到薄膜光学参数,对光学薄膜设计和加工具有重要指导意义.