热反射测温系统测温准确度验证方法研究

• 作者: 丁晨 翟玉卫 刘岩 郑世棋 吴爱华
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 关键词: 热反射测温 温度监测 准确度
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 精密测量技术
• 页码范围: 43-48
• 页数: 6页
• 分类号: TN911
• 语种: 中文
• DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2021.02.08

摘要

针对热反射测温系统测温准确度验证结果不准确的问题,提出了一种热反射测温系统测温准确度的验证方法.采用以Si为衬底,利用半导体工艺制备金薄膜电阻,通过制作夹具,键合薄膜电阻与夹具的方式研制出验证电阻件.使用温控平台在30～100℃温度下对其进行温度系数考核,结果表明电阻件的阻值与温度有良好的线性关系.通过热电法计算出电阻件温度值,与热反射测温系统测量的电阻件温度值相比较,从而实现热反射测温系统测温准确度验证,保障了热反射测温系统的测温准确性.