能量分析器型真空电离规性能研究

• 作者: 侯颖杰 张虎忠 李得天 魏建平 成永军
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 关键词: 电离规 能量分析器 离子流 ESD效应 软X射线
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 126-131
• 页数: 6页
• 分类号: O46
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202009003

摘要

电子激励脱附(ESD)效应和软X射线效应是影响电离真空计测量下限的两大重要因素.基于能量分析器研制了电离真空规,在极高真空校准装置上对其开展性能研究,包括不同压力或不同阴极发射电流下的离子流、ESD效应和软X射线影响.结果 表明,系统压力介于10-8Pa和10-6 Pa之间,当气体发生电离,能量分析器电压在低于阳极电压约25V时收集极能得到最大的气相离子流.系统压力在10-7～10-8 Pa量级,采用2.5 mA的发射电流可得到比1 mA更大的气相离子流值.分离气相离子与ESD离子的能量筒电压差约为30 V,规管栅极除气后可降低ESD效应至除气前的37.5％.电离规的软X射线带来的本底干扰对应等效压力约为9×10-11Pa.