微米光栅加速度计闭环检测技术优化与设计

• 作者: 李烁铠 占日新 苏群 刘元斌
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 加速度计 闭环检测 信噪比 偏置稳定性
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量与检测
• 页码范围: 78-83
• 页数: 6页
• 分类号: TN256
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2021.01.078

摘要

提出一种基于Pound-Drever-Hall(PDH)调制技术的新型闭环控制方法,优化了微米光栅加速度计的信噪比和静态检测精度.采用电磁驱动实现自校准和反馈控制,相对于静电驱动降低了功耗提升了反馈效率,解决了开环检测方式下测量范围和灵敏度不可兼得的难题.对系统光学输出的干扰源进行本质分析,通过将闭环误差信号调制到高频,以消除光源自身的波动和杂散光干扰.经过相敏检测器(PSD)和解调滤波器后,得到了高信噪比的闭环误差信号.实验结果表明,微米光栅加速度计闭环检测输出的信噪比相对于开环检测提升了 21 dB,O.5 g加速度输入下的偏置稳定性达到0.28 mg.