克服FET生物传感器德拜屏蔽效应的研究进展

• 作者: 熊恩毅 魏淑华 张兆浩 魏千惠 张双 方敏 张青竹
• 来源期刊: 半导体技术
• 关键词: 场效应晶体管(FET) 生物传感器 德拜屏蔽效应 电双层 灵敏度
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望|Trends and Outlook
• 页码范围: 169-177
• 页数: 9页
• 分类号: TN386|TP212.47
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.03.001

摘要

目前场效应晶体管生物传感器(BioFET)已成功用于生物医学检测.虽然BioFET在生物检测方面具有快速响应、无标记和高灵敏度检测等优点,但是BioFET用于生理环境检测时,容易受到德拜屏蔽效应的影响,导致灵敏度降低甚至无法检测.阐述了BioFET的工作原理;介绍了BioFET目前面临的挑战之一——德拜屏蔽效应;解释了德拜屏蔽效应的原理;探讨了克服德拜屏蔽效应的典型方法:增加德拜长度、优化目标物、优化器件结构以及降低电双层影响,并对这4个方面的研究进展从增强机理、具体方法及检测效果等方面进行了详细的分析和总结.