石墨烯基薄膜在真空检漏中的潜在应用

• 作者: 刘招贤 孟冬辉 任国华 王莉娜 张骁 韩琰 孙立臣 姜利祥 闫荣鑫
• 来源期刊: 真空与低温
• 关键词: 石墨烯基薄膜 真空检漏 缺陷 氧化石墨烯
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 真空技术|Vacuum Technology
• 页码范围: 205-213
• 页数: 9页
• 分类号: TB774
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2021.03.001

摘要

针对超灵敏检漏系统中缺乏与漏率匹配的极小漏率标准漏孔的问题,基于无缺陷石墨烯对气体分子的不渗透性,提出使用石墨烯基薄膜作为漏孔元件新型材料的思路,并对多孔石墨烯薄膜的制备和机械强度进行了讨论,同时介绍了本课题组对氧化石墨烯薄膜渗透性的研究成果,为石墨烯基薄膜作为标准漏孔新型材料提供指导.