高纯稀土钇靶材焊接技术

• 作者: 徐国进 张巧霞 罗俊锋 李勇军 滕海涛 熊晓东
• 来源期刊: 焊接
• 关键词: 靶材 高纯稀土钇 6061Al合金 钎焊 扩散焊接
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TG453+.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.12073/j.hj.20200924001

摘要

以高纯稀土钇材料、铜及6061Al合金材料为研究对象,研究了高纯稀土钇靶材的钎焊与扩散焊接性能.结果 表明,稀土钇靶材对In焊料的浸润性差,需要对靶材进行金属化处理,提高靶材的焊接性能;研究不同钎焊焊接温度对稀土钇靶材焊接质量的影响,焊接温度越高靶材焊合率越高,与焊料的流动性提高有关;开展高纯稀土钇靶材与6061Al合金的扩散焊接技术研究,在焊接温度400℃,压力110 MPa,保温3h的扩散焊接后,扩散区深度约为8μm,焊接界面实现冶金结合,焊接强度达到70 MPa,满足8～12英寸大尺寸靶材的高溅射功率要求.