基于改进六步翻转法的平行平板面形及均匀性绝对检测方法

• 作者: 张帅 全海洋 侯溪 胡小川 吴高峰
• 来源期刊: 光电工程
• 关键词: 光学检测 干涉计量 绝对检测 不确定度评估
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 所属期刊栏目: 科研论文|Article
• 页码范围: 23-31
• 页数: 9页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.12086/oee.2021.210047

摘要

本文提出了一种改进六步翻转法,同时实现平行平板均匀性以及绝对面形的测量,结合相应的稀疏迭代算法,进一步实现高精度的均匀性和绝对面形误差的重构.通过相应的理论分析和实验验证工作,进一步证明了该方法的有效性和达到亚纳米级检测精度的能力.利用本文所提出的方法与传统绝对平面检测方法以及材料均匀性测量方法进行交叉对比,其中绝对平面测量结果之间差异优于1.7 nm RMS,均匀性测量精度差异不超过2.3 nm RMS.实验结果表明了两者具有高度一致性,同时具有较好的重复性,验证了文章提出的方法的准确性.并且根据不确定度分析表明,该方法与传统的透射法相比提高了测量精度.