基于pn结的微热加速度传感器

• 作者: 王佩英 邱霁玄 张成功 王欢 李以贵
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 传感器 微细加工技术 绝缘体上硅(SOI) pn结
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器|MEMS and Sensors
• 页码范围: 410-415
• 页数: 6页
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.05.007

摘要

在密闭腔室,设计加热器和测温元件结构并充入气体后加热,腔室内可以形成稳定的热对流场.由于气体存在惯性,当外界有加速度作用时,指定位置放置的pn结可以检测到温度变化.通过仿真分析优化了腔室的合适直径和pn结放置的具体位置.为有效提高温差,优化了 pn结的形状以解决因提高气体工作温度带来的热应力集中问题.利用微细加工技术制备了加热器、pn结及腔室结构.对所制备的pn结的伏安特性进行了测试,封装后的传感器测试结果表明:气体温度为200℃时,传感器的灵敏度为8 mV/g,非线性度为0.23％.制备的基于pn结的微热加速传感器具有应力小、灵敏度高的特点.