真空计在线校准系统的研制

• 作者: 田虎林 杨振 柏向春 魏萌萌 闫睿 王欢 卢耀文
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 真空计 在线校准 校准系统
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制|Measurement and Control
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TB935
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.11

摘要

为了解决真空计在线校准的问题,研制出一种真空计在线校准系统.真空计在线校准系统通过优化设计、材料及工艺处理已解决宽量程校准的问题.通过对在线校准技术的研究,采用比较法校准方法,以三台高精度的薄膜真空计和一台高精度电离真空计作为参考标准,解决了校准条件与使用条件基本一致性问题,可以减小量值传递过程产生的不确定度,保证测量的准确性和可靠性.真空计在线校准系统可实现(105～10-5)Pa范围内的真空计的在线计量,相对扩展不确定度不大于13％.