拉曼光谱仪在基板玻璃表面污染物分析中的应用研究

• 作者: 王答成 刘晓芳 曾召
• 来源期刊: 玻璃
• 关键词: 拉曼散射 瑞利散射 拉曼光谱 污染物
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与综述
• 页码范围: 11-14,20
• 页数: 5页
• 分类号: TQ171
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2021.03.003

摘要

为分析对策基板玻璃制造后加工过程中的表面污染问题,提升产线良率,需要对表面污染物进行形貌、成分分析.对污染样品取样,用光学显微镜进行外观形貌观察,用拉曼光谱仪进行污染物成分分析,然后进一步分析其来源,采取针对性的对策.实践表明:使用拉曼光谱仪在对基板玻璃表面污染物成分分析方面效果显著,能满足产线对表面污染物的分析要求.