X波段MEMS环行隔离滤波芯片

• 作者: 李志东 汪蔚 杨拥军 周嘉 翟晓飞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 环行器 隔离器 滤波器 多功能芯片
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器|MEMS and Sensors
• 页码范围: 416-420
• 页数: 5页
• 分类号: TN713|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.05.008

摘要

设计并制备了一种X波段微电子机械系统(MEMS)环行隔离滤波芯片,该芯片以高阻硅作为衬底材料,由2个MEMS环行器、1个薄膜匹配电阻以及1个MEMS滤波器四部分优化集成在一起,实现多功能芯片化.相比传统环行隔离器外接滤波器,其具有优良的电磁兼容及带外抑制能力,同时具有尺寸小、内部匹配好、易于调试装配等特点.基于MEMS环行器及MEMS滤波器的设计理论,结合三维电磁仿真软件,实现环行隔离滤波芯片的仿真设计.芯片整体尺寸为10 mm×10 mm×2.5 mm,频率为8.5～11.5 GHz,带内回波损耗＞20dB,收发通道的带外抑制＞25 dB@7 GHz&13 GHz.