基于半球谐振陀螺电极刻蚀的三维平衡调整方法

• 作者: 杨勇 彭凯 邓力 谭品恒 方仲祺 雷霆 余波
• 来源期刊: 压电与声光
• 关键词: 半球谐振陀螺 电极刻蚀 平衡调整 误差 激光位移传感器
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 页码范围: 336-339
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7|V241
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2021.03.010

摘要

曲面电极刻蚀技术是半球谐振陀螺的关键技术之一.为满足半球谐振陀螺高精度和高性能的要求,针对激励罩和读出基座的电极刻蚀工艺,该文提出了一种新的调整方法——三维平衡调整法.通过X、Y、Z方向的位移传感器检测器件与参考平台的间距,根据间隙差距的大小进行相应的调整.试验验证表明,该方法能有效减小半球谐振陀螺电极刻蚀的误差,满足器件的各项性能参数.该方法原理简单,具有定位精度高,工艺易实现的优点,对半球谐振陀螺电极刻蚀工艺具有较好的工程应用价值.