高精度绝对式差极角位移传感器

• 作者: 张辉 刘小康 彭凯 蒲红吉 于治成 徐天慧
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 关键词: 高精度 绝对式 差极结构 角位移传感器
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器技术|Sensor Technology
• 页码范围: 27-33
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2021.05.006

摘要

针对传统的大尺寸栅式角位移传感器在实现绝对定位的同时难以兼顾高精度测量的问题,在前期研究基础上设计了基于交变电场的大尺寸绝对式角位移传感器.传感器利用单列式传感结构实现高精度测量,设计内、外圈两圈结构在整周内刚好相差一对极以实现绝对定位.研制的传感器样机内径为100 mm、外径为154 mm,经实验测试并分析,其对极内呈现的二次谐波误差是由传感器不圆度所导致,四次谐波误差是因传感器结构缝宽比设计不合理而形成.为此,通过加长定尺极片、缩短动尺极片以削弱二次谐波误差,并设计缝宽比为1:1以减小四次误差.优化后的传感器整周测量精度达到5″,对极内测量精度达到±1.5″.