相位型空间光调制器的自参考标定方法

• 作者: 李儒佳 高云晖 曹良才
• 来源期刊: 液晶与显示
• 关键词: 液晶空间光调制器 相位调制 相位标定 自参考 干涉法
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 液晶空间光调制器及其应用|Liquid Crystal Spatial Light Modulator and Its Applications
• 页码范围: 854-860
• 页数: 7页
• 分类号: TP394.1|TH691.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/CJLCD.2021-0046

摘要

相位型空间光调制器(SLM)是一种对光的相位信息进行定量调控的器件.由于制造和使用过程中的一些不确定因素,需要标定SLM的相位调制,即输入灰度和输出相位的响应(LUT).本文介绍了基于自参考光路的SLM相位调制标定方法.通过在SLM上产生光栅相位,光栅的衍射级次作为参考光,与标定区域的光干涉、形成干涉图.利用傅立叶频谱分析技术和数字全息技术分析干涉图,可分别对SLM的全局LUT和局部LUT进行测量标定.自参考标定方法仅需一个分束器和CMOS即可标定SLM,同时可实现原位标定,是一种简便高效的标定方法.