95％Al2O3陶瓷的MoO3体系低温金属化机理研究

• 作者: 陈欣 杨洁 黄刚 陈弹蛋 向军 李天涛 刘平
• 来源期刊: 真空电子技术
• 关键词: 低温金属化 95 Al2O3陶瓷陶瓷 活化剂 玻璃相
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与实验
• 页码范围: 62-66,83
• 页数: 6页
• 分类号: TB756
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2021.01.12

摘要

本文采用由MoO3加活化剂组成的配方对氧化铝陶瓷进行低温金属化,通过对氧化铝陶瓷、金属化层的显微结构及元素的分布情况来探索氧化铝陶瓷的低温金属化机理.研究发现金属化层中大部分MoO3还原成活性较好的Mo颗粒,Mo颗粒间相互烧结连通为主体金属海绵骨架,同时少量的Mo氧化物与MnO、Al2O3、SiO2、CaO等形成玻璃熔体,MnO、Al2O3、SiO2、CaO之间也会形成MnO-Al2O3-SiO2-CaO系玻璃熔体,从而获得致密、Mo金属与玻璃熔体相互缠绕、包裹的金属化层.金属化层中的两种玻璃熔体先后渗透、扩散进入氧化铝陶瓷晶界从而实现陶瓷与金属化层之间的连接.金属化层中还原的Mo金属与Ni层之间形成Mo-Ni合金,从而实现Ni层与金属化层之间的结合.