掩模制造用量测设备工件台结构研究

• 作者: 华卫群 尤春 薛文卿
• 来源期刊: 电子与封装
• 关键词: 量测设备 工件台 花岗岩基座 气浮导轨 微晶玻璃
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性|Microelectronics Fabrication & Reliability
• 页码范围: 59-63
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.16257/j.cnki.1681-1070.2021.0613

摘要

高精密量测机台在量测过程中,温度波动和支撑地板震动均会影响量测精度.选用合适的量测设备、工件台材料以减弱温度波动的影响,选用装备减震功能的部件以提高量测工件台的平稳性,采用气悬浮移动工作平台减少摩擦力以提升量测精度.量测设备工件台结构和零部件组合的几何精度分析结果表明,高精密量测机台的水平/垂直直线性上移动小于2 μm,气悬浮平台的悬浮间隙误差小于1 μm.