基于2-opt蚁群算法优化掩膜版缺陷点路径的应用研究

• 作者: 徐智俊 王亚腾 熊启龙
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 掩膜版 缺陷点 激光化学气相沉积 两元素邻域搜索 蚁群算法 路径优化
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制|Research and Trial-manufacture
• 页码范围: 274-282
• 页数: 9页
• 分类号: TN209
• 语种: 中文
• DOI: 10.19453/j.cnki.1005-488x.2021.04.006

摘要

针对现有激光化学气相沉积设备在寻找掩膜版缺陷点时存在镜头移动行程长、镜头频繁失焦的问题,采用基于2-opt邻域搜索的蚁群算法来优化设备的修复缺陷点顺序.相对于传统的X/Y轴升序排列,此方法能够有效缩短镜头寻点时间、降低失焦概率.为加快处理大规模缺陷点时的算法速度,提出设置蚁群近邻搜索范围、2-opt固定半径邻域搜索以及设置不检测标记的加速策略来改善2-opt蚁群算法的收敛时间和优化质量.实验证明,改善后的2-opt蚁群算法路径优化率超过92.5％,最快算法时间仅为5.72 s,失焦率仅仅为0.28％,相比基本蚁群算法和基本2-opt蚁群算法,改善后的2-opt蚁群算法在路径优化质量、优化时间以及保证镜头焦距稳定方面更具优势.