利用漏率间接测量密封件真空度方法的研究

• 作者: 刘国庭 成永军 陈联 王玉洁 孙雯君 董猛 吴成耀 宋伊 魏宁斐
• 来源期刊: 真空
• 关键词: 密封件 间接测量真空度 漏率 流导 动态流量法 毛细管
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制|Measurement and Control
• 页码范围: 59-64
• 页数: 6页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2021.03.12

摘要

本文提出利用漏率间接测量真空度的方法,解决密封件腔内真空度的测量问题.在此基础上开展相关实验,探究该方法在实际应用中的可行性以及相关适用条件等.实验以连接不同尺寸规格金属毛细管的模拟件为研究对象,利用动态流量法测量模拟件的漏率,进而间接获得模拟件的腔内真空度.实验结果表明,利用漏率间接测得的模拟件真空度与利用皮拉尼规原位测得的模拟件真空度的偏差在15％左右,偏差较小.同时实验中还发现该方法存在包括测量范围、反应时间等限制性适用条件,并在理论上做了合理的解释,进而完备了该方法,并为实际应用奠定了基础.