2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展(6)

• 作者: 中国可再生能源学会光伏专业委员会
• 来源期刊: 太阳能
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 行业观察
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.19911/j.1003-0417.tyn2020.06

摘要

7) 其他正在开发PECVD设备的公司.目前至少有3家公司正在开发PECVD设备产品,分别是北京捷造公司、捷佳伟创公司和迈为公司. 北京捷造公司已经开发出1台可用于产业化的链式PECVD 设备,并提供给汉能公司进行试验,且得到了不错的反馈.